腔體是半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵零部件,主要用于刻蝕、薄膜沉積設(shè)備中。腔體通常由高純度、耐腐蝕的材料制成,主要為不銹鋼和鋁合金。腔體為晶圓生產(chǎn)提供耐腐蝕、潔凈和高
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