真空是指在指定空間內(nèi)低于環(huán)境大氣壓力的氣體狀態(tài)，也就是該空間內(nèi)氣體分子數(shù)密度低于該地區(qū)大氣壓的氣體分子數(shù)密度。

完全沒有氣體的空間狀態(tài)稱為絕對真空，實際上是不存在的。

在真空技術(shù)中，常用真空度來衡量真空狀態(tài)下空間氣體的稀薄程度，通常真空度用氣體的壓力值來表示。壓力值越高，真空度越低；壓力值越低，真空度越高。

常用的壓力單位為Pa，1Pa壓力是在1平方米的面積上作用1N的力；此外還有標準大氣壓1atm、托Torr、巴Bar等壓力單位。

一般認為在標準情況下760mm高的汞柱產(chǎn)生的壓力為1atm，即1atm=760mmHg=101325Pa；1Torr=1/760 atm；1Pa=10ubar（微巴）=10^-2 mbar （毫巴）。

通?？梢园颜婵斩葎澐譃橐韵聟^(qū)段：低真空，10^5 Pa-10^2 Pa；中真空，10^2 Pa-10^-1 Pa；高真空，10^-1 Pa-10^-5 Pa；超高真空，＜10^-5 Pa。

表1：真空度劃分范圍及應(yīng)用領(lǐng)域

圖源：中科儀招股說明書

表2：氣體傳輸泵的分類及應(yīng)用

圖源：中科儀招股說明書

根據(jù)國際真空技術(shù)統(tǒng)計工作組（International Statisticsfor Vacuum Technology，后文簡稱ISVT）的分類，將真空行業(yè)分為8個類別，包括粗真空、工藝真空、工業(yè)真空、半導(dǎo)體工藝真空、半導(dǎo)體外薄膜沉積、太陽能、儀器制造以及科學(xué)研究。

圖1：ISVT根據(jù)真空度的不同要求和應(yīng)用領(lǐng)域?qū)⒄婵招袠I(yè)分為8個類別

圖源：ISVT,  廣發(fā)證券

真空泵是制造業(yè)重要的通用設(shè)備，半導(dǎo)體應(yīng)用占據(jù)最大份額，光伏高增長。根據(jù) ISVT，2019 年全球真空設(shè)備的市場規(guī)模約 350 億元，其中半導(dǎo)體用真空設(shè)備約 135 億元，占比約 38%，是最大的應(yīng)用領(lǐng)域，此外光伏領(lǐng)域的真空泵需求正快速增長。

真空泵在半導(dǎo)體領(lǐng)域用途廣泛，在半導(dǎo)體大硅片生產(chǎn)環(huán)節(jié)的單晶爐，在晶圓制造環(huán)節(jié)的光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設(shè)備、離子注入機等，在封測環(huán)節(jié)的模塑設(shè)備領(lǐng)域，真空泵均有廣泛的運用。