
SQM-160 使用久經(jīng)檢驗(yàn)的 INFICON 石英晶片振蕩技術(shù)測 量薄膜沉積過程中的速率和膜厚 . 標(biāo)準(zhǔn)型為兩個(gè)探頭輸 入, 可選四個(gè)探頭輸入 . 兩個(gè)記錄儀輸出用于提供模擬速 率與膜厚訊號 .
產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品特性
探頭輸入可指定不同的材料,大型系統(tǒng)中,為了精確控制,可以將多個(gè)探頭信號平均,也可以配置成雙探頭,速率采樣模式可在高速率鍍膜工藝中延長帶擋板探頭的使用壽命??蛻艨蛇x擇速率顯示精度0.1?/秒或0.01?/秒,也可以選擇顯示頻率或質(zhì)量。SQM-160有四個(gè)繼電器輸出,可用于控制源或探頭擋板,也可作為時(shí) 間控制點(diǎn),厚度控制點(diǎn)或晶振失效的控制信號,數(shù)字信 號輸入可以實(shí)現(xiàn)外部啟動(dòng)儀器,停止測量或讀值歸零。
SQM-160帶有一個(gè)RS-232端口和Windows?軟件,幫助您用計(jì)算機(jī)設(shè)置儀器 . 軟件可用于設(shè)定與貯存全部參數(shù), 運(yùn)行儀器, 和用Excel?文件格式保存過程數(shù)據(jù)USB或以太網(wǎng)選項(xiàng)增加通訊的靈活性。
使用方便
當(dāng)速率和膜厚測量開始時(shí),按Zero(置零)將上次膜厚的讀值歸零,接著按Shutter(擋板)打開源或探頭擋板又大又亮的顯示器同時(shí)顯示膜厚和速率讀值,可從室內(nèi)的 任意角落讀出當(dāng)達(dá)到要求的膜厚, 或達(dá)到預(yù)定的時(shí)間,擋板關(guān)閉,相應(yīng)的面板信號燈亮任何時(shí)候按 XtalLife(晶體壽命)按鈕可查閱剩余的晶體壽命兩組菜單用來設(shè)置貯存儀器控制的99個(gè)膜系參數(shù)按Program(程序)可進(jìn)入菜單旋轉(zhuǎn)設(shè)定旋鈕來選擇/編寫參數(shù)主顯示器可顯示菜單提示信息,所有數(shù)值顯示在輔助(時(shí)間)顯示器上.
高精度-低成本
在10讀值/秒下的標(biāo)準(zhǔn)頻率分辨率為0.3Hz高精度選項(xiàng)在10讀值/秒下將分辨率提高至的0.03Hz在整個(gè)運(yùn)籌范圍內(nèi)溫度穩(wěn)定性為2ppm集成高精度與高穩(wěn)定性于一
臺儀器中,如此低的價(jià)格是無可匹敵的!